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工商時報【涂志豪、楊騰凱╱台北報導】

晶圓代工龍頭台積電的中科超大電動床工廠12吋晶圓廠(GigaFab)Fab 15擴廠的環差案審核昨(28)日確認修正通過,但附帶要求中科管理局必須定期檢查、不定期抽驗化學品使用,並將空、水、廢等排汙狀況上網公開。台積電資深處長莊子壽表示,環差案通過後,給我們一個定心丸,確定10奈米可量產,台積電2017年的成長就靠10奈米。

環保署昨天審查台積電中科Fab 15擴廠的環境影響差異分析報告,台積電同意接受中科管理局定期檢查、不定期抽驗化學品使用,以及空氣、水、廢棄物等汙染排放情形,並記錄留存。除此之外,還會將空、水、廢等排污狀況上網公開,全案最後也修正通過。

台積電Fab 15擴廠部份是要興建10奈米晶片廠,此次所提出的變更是排放化學物質項目的變動。台積電表示,由於製程改變,原計畫規劃管道排放物質清單,可能使用或排放的化學物質從原來申請的152種增加為182種,但經危害確認後,具毒理資料可納入健康風險評估的物質從36種降為32種,2B致癌物則從乙醇、乙荃、砷、鎳等4種,變成砷、鎳、二氯甲烷、鈷化合物等5種。

台積電Fab 15擴廠的環差案審核過關,負責建廠規劃的台積電資深處長莊子壽表示,10奈米製程資料3年前就準備好了,送來審查就代表將來沒什麼問題,環差案正式通過後,確定可以量產,台積電2017年成長就靠10奈米,希望能在激烈的競爭中取得優勢。至於7奈米製程已經開始進行,雖然還不到量產階段,但是7奈米生產線應會安排在中科廠區內。

台積電已宣布10奈米今年第四季進入量產,最快明年第一季就可貢獻營收。據設備業者表示,台積電Fab 15的第5期至第7期將是10奈米及7奈米生電動床補助產據點,其中第5期已經在第四季進入量產,第6期將在明年上半年量產,第7期量產時間在明年下半年,3座廠全產能量產規模可上看每月10萬片12吋晶圓。

台積電10奈米接單滿載且產能供不應求,也沒有外界傳出的良率不佳問題,包括聯發科Helio X30/X35手機晶片、蘋果A10X應用處理器、海思Kirin 970、高通ARM架構伺服器電動調整床處理器等,均委由台積電10奈米代工,蘋果明年推出的A11應用處理器也會在台積電Fab 15投片。

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